штат: | |
---|---|
Количество: | |
Minwen
Сценарий применения криогенных установок разделения воздуха:
Электронная и полупроводниковая промышленность
Криогенная установка разделения воздуха играет жизненно важную роль в электронной и полупроводниковой промышленности, особенно в производстве азота и кислорода высокой чистоты.В этом сценарии применения установка кислорода/азота/аргона используется для разделения атмосферного воздуха на его первичные компоненты с помощью криогенной дистилляции.Полученные азот и кислород подвергаются дальнейшей очистке для достижения необходимого уровня чистоты, требуемого электронной промышленностью.Азот высокой чистоты используется для различных применений, включая инертизацию, продувку, а также в качестве газа-носителя при производстве электронных компонентов.Кислород, с другой стороны, используется для процессов окисления, газофазного легирования и в качестве источника активных форм кислорода в производстве полупроводников.Способность криогенной установки разделения воздуха поставлять газы высокой чистоты с низким уровнем примесей обеспечивает надежность и качество процессов производства электронной и полупроводниковой продукции.
Воздухоразделительный блок среднего и большого размера с паспортом аргона | ||||||
Модель | Производственная мощность | Производственная чистота или примеси | ||||
Кислород | Азот | Аргон | Кислород | Азот | Аргон | |
КДОНар-3200/6400/100 | 3200 | 6400 | 100 | 99.6 | ≤10 | ≤1,5 ppm O2+3 ppm N2 |
КДОНар-6000/12000/180 | 6000 | 12000 | 180 | 99.6 | ≤10 | ≤1,5 ppm O2+3 ppm N2 |
КДОНАр-10000/20000/330 | 10000 | 20000 | 330 | 99.6 | ≤10 | ≤1,5 ppm O2+3 ppm N2 |
КДОНАр-20000/40000/650 | 20000 | 40000 | 650 | 99.6 | ≤10 | ≤1,5 ppm O2+3 ppm N2 |
КДОНАр-40000/80000/1200 | 40000 | 80000 | 1200 | 99.6 | ≤10 | ≤1,5 ppm O2+3 ppm N2 |
КДОНАр-80000/130000/2400 | 80000 | 130000 | 2400 | 99.6 | ≤10 | ≤1,5 ppm O2+3 ppm N2 |